Doktorandenstelle in Wien - Nanostrukturierung mit Elektronenstrahl

Methode der fokussierten Elektronenstrahlinduzierten Prozessierung

FEBIP) bietet einen direkten und flexiblen Ansatz zur Herstellung von

Nanostrukturen. FEBIP ist ein maskenlose, lackfreie

Direktstrukturierungsmethode. Abscheidung und Ätzen wird mittels

eines fokussierten Elektronenstrahls durch die Zersetzung von

adsorbierten Gasmolekülen auf der Substratoberfläche induziert. Diese

Methode wird für die Reparatur von integrierten Schaltkreisen, die

Modifikation von Photomasken und die Fertigung von 3D-NEMS Systemen

genutzt. Durch die Abscheidung können leitfähige Nanodrähte

hergestellt werden. Durch Ätzprozesse können Nanostrukturen wie

Nanodrähte modifiziert werden und so eine gezielte Veränderung ihrer

elektrischen und physikalischen Eigenschaften bewirkt werden.


Diese Arbeit konzentriert sich auf (i) die Abscheidung von Edelmetall

Nanostrukturen und deren Anwendungen für als Katalysator für das

Wachstum von Si-Nanodrähten sowie (ii) auf das lokale Ätzen von Si

Nanodrähten durch Chlor zur Anwendung in neuartigen Nanobauteile wie

Biosensoren und Gassensoren.


Der Doktorand wird in der Bedienung von Rasterelektronenmikroskopen

und in der Gaszudosierung in Vakuumsysteme zum

elektronenstrahlinduzierten Abscheiden und Ätzen ausgebildet. Darüber

hinaus erhält er ein umfangreiches Training in der lithografischen

Mikrostrukturherstellung (Reinraum) und in verschiedenen

Herstelltechniken, wie Sputtern, RIE, PE-CVD und

Charakterisierungstechniken wie REM, TEM, AES, AFM, EDX.


Die offerierte Position umfasst eine Anstellung als

wissenschaftlicher Projektassistent an der Technischen Universität

Wien. Der erste Teil des Doktorats-Programms (16 mo) wird als Teil

eines renommierten Marie-Curie-